兩相流動的液氮進入氣液分離器以后，氣體被排往室外，剩下的就是純的、不含氣體的液氮，溫度為-196°C。純的液氮在重力的作用下通過真空多層絕熱低溫液體管進入低溫夾套。由于最低處液氮存在的靜壓，所以溫度會稍低一點。液氮在低溫夾套吸熱以后，比重改變，于是更輕的液氮回流至氣液分離器內(nèi)比液面更高的位置。其中的氣體被排出，液體則繼續(xù)使用。
液氮密閉循環(huán)系統(tǒng)用于對MBE 設備進行低溫冷卻，能夠保障工藝生長與極限真空，整個系統(tǒng)設計必須能符合 MBE 操作進行的液氮自動循環(huán)，提供液氮純化、氮氣液化、和降低液氮損耗功能效果
TSG D0001-2009 《壓力管道安全技術監(jiān)察規(guī)程-工業(yè)管道》
TSG D2001-2006 《壓力管道元件制造許可規(guī)則》
TSG D3001-2009 《壓力管道安裝許可規(guī)則》
TSG D7001-2013 《壓力管道元件制造監(jiān)督檢驗規(guī)則》
TSG D7002-2006 《壓力管道元件型式試驗規(guī)則》
從液氮儲槽開始到氣液分離器之間輸送液氮的真空多層絕熱低溫液體管道、氣液分離器和一個或者多個低溫夾套之間的供給和回流排氣管道組成。1.它包括內(nèi)筒體、外筒體、進液閥、出液閥、調(diào)節(jié)閥和控制箱模塊等管路配件組成。主要應用于低溫工況下，實現(xiàn)工作介質(zhì)氣相和液相的分離，氣相達到一定壓力通過調(diào)壓閥減壓，從排氣口排出室外。液相儲存在罐體的內(nèi)部，底部設置有出液口。出液口通過管段將液相介質(zhì)流入設備內(nèi)，給腔室降溫或進入冷肼維持低溫狀態(tài)。
工作壓力可以根據(jù)用戶的需求進行精細化設計，容積可以根據(jù)設備的流量進行優(yōu)化選取。
最大允許工作壓力：1.6MPa
設計溫度：-196℃
容積：30-200升
分離器含6個及以上接口，分器接口為 S1250規(guī)格真空插刀，入口為S625規(guī)格真空插刀。S1250 接頭設計為 TRIAX型，確?？梢砸旱斔秃偷獨饣亓鲀捎?，提供MBE和分離器的管道連接活動性必須滿足MBE操作時液氮使用量大于50LPH分密器大于20L液氮容量，必須含有流量控制閥、安全閥、液位感應器、液位控制 PLC、液位顯示器。
